臭氧實驗箱的主要工藝有核輻射法、電解法、紫外光、等離子體及電暈放電法等。應用較多的是在臭氧發生器中放電氧化空氣或純氧生成臭氧。也就是在空氣中采用高能量交互電流將氧分子電離，形成臭氧。
臭氧實驗箱利用紫外光輻射或暴曬，可以自然地由雙原子氧形成臭氧。在工業上，采用5-25kv交流電壓，在干燥空氣或氧氣條件下實現了靜放電限值。另外，在低溫條件下電解稀硫酸或對液體氧進行加熱都能產生臭氧。
在大氣中，臭氧是指大氣中氧分子在太陽輻射下分解成氧原子后，與周圍氧分子結合形成的微量氣體，含有3個氧原子。
臭氧層的半衰期只有30-60分鐘。因其不穩定性、易分解，不能作為常規的產品儲存，需要在現場制作。由空氣制成的臭氧濃度一般在10~25mg/L之間，由氧氣制成的臭氧濃度為20~40mg/L。臭氧濃度為1%-4%的空氣可用于消毒水。
臭氧法是利用干燥空氣或干燥氧氣為原料，經放電法制得。臭氧實驗箱產生臭氧的另一種方法是電解，在電解中電解成氧元素，然后將自由氧轉化為臭氧。
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